第376章 极紫外光刻机
苏扬看了半秒刘元龙，道“这些设备，的确是最新的半导体核心设备，尤其是光刻机。” 说着，指着光刻机道“这台光刻机里面的激光器、光束矫正器、能量控制器、光束形状设置、遮光器、能量探测器、掩模版都是国际最前沿的技术产品。” 苏扬继续道“另外，掩膜台的运动控制精度达到纳米级，物镜、量台、曝光台、内部封闭框架、减振器等物，也都是目前最先进的产品。” “当然，最主要的还是这台光刻机的光源，并非是目前国际国内流行的深紫外光。” “所采用的光是135n的软x射线，也就是极紫外光作为光源。” 苏扬的话音落下。 现场陡然变得一片寂静。 四名高冷的保镖们不知所云，作为退役的军人，他们对这些科技玩意儿一无所知，完全听得云里雾里。 但看到半导体公司的人，一个个都瞠目结舌，傻了似的，又觉得boss的话不明觉厉。 短暂的寂静之后，便是一片哗然，安正国等七人议论纷纷。 “这……” “采用的是135n的极紫外光？” “怎么可能，我前两天才刚刚看的新闻，尼康公司的光刻机，也才在准备进发32n半导体工艺，而光源依旧用的是193n的深紫外光啊！” “是啊，曝光波长一下子降到135n，这岂不是意味着……它能够把光刻技术扩展到32n以下的特征尺寸了！！！” “苏总，您别不是在逗我们开心啊，现在全球范围内，绝对没有任何一家半导体公司，能造出这样的设备！” “苏总，这到底是真是假啊！” 几名远扬半导体的高层，一个个都红着眼眶，把目光不断在苏扬和光刻机的身上徘徊。 作为半导体制造业皇冠上的明珠，光刻机的意义不言而喻。 芯片在生产中需要进行2030次的光刻，耗时占到ic生产环节的50左右，占芯片生产成本的三分之一。 通常意义上来说，只要解决光刻机的问题，那么芯片制造的工程，就完结了一半。 因此，也不怪几个搞半导体的家伙，像是痴·汉一样看着他。 苏扬笑道“行了，你们也别这样看我，是真是假，我嘴上说了也没用，召集人员进行一次实验，不就一目了然了？安总，工厂内应该是有光刻胶和硅片的吧？” 安正国一愣，连忙道“有，都储存着呢，我马上找人来进行实验。” 说着，安正国立刻召集人手，搬来相应的半导体材料。 半导体芯片生产主要分为ic设计、ic制造、ic封测三大环节。 所谓ic，就是集成电路的英文简写。 ic设计是高端技术，也是ter等公司，能屹立于半导体行业巅峰最重要的因素之一。 主要根据芯片的设计目的，进行逻辑设计和规则制定，并根据设计图制作掩模，以供后续光刻步骤使用。 而ic制造，就是半导体芯片的制造了。 一般，要实现芯片电路图从掩模上转移至硅片上，并实现预定的芯片功能。 包括了光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积、化学机械研磨等步骤。 至于ic封测，就是完成对芯片的封装和性能、功能测试，是产品交付前的最后工序。 ic设计就不提了，苏扬有苹果a6处理器的技术，其中就包括了32n芯片的设计。 另外，商城挂着的ter酷睿系列，也有45n——14n芯片的工艺技术。 而在ic制造中，光刻又是半导体芯片生产流程中最复杂、最关键的工艺步骤，耗时长、成本高。 其中的难点和关键点，在于将电路图从掩模上转移至硅片上。 这一过程，目前只能通过光刻，才能最有效地实现。 所以，光刻的工艺水平，往往直接决定了芯片的制程水平和性能水平。 安正国找来技术人员和材料，在苏扬的指导下，这些专业生产芯片的员工，初步了解到这台光刻机的使用流程。 光刻的原理，实际上非常简单。 在硅片表面覆盖一层具有高度光敏感性的光刻胶，再用光线透过掩模照射在硅片表面。 被光线照射到的光刻胶，会发生反应。 此后，再用特定的溶剂洗去被照射或未被照射的光刻胶，就实现了电路图从掩模到硅片的转移。 这和华夏古代的印刷术，实际上有一些相似之处，但光刻技术却比印刷术难了千万倍。 一般的光刻步骤，有气相成底膜、旋转涂胶、软烘、曝光、显影、坚膜。 接着，就是进行检测，主要是显影检测，让合规的硅片进入后续的蚀刻流程。 所谓蚀刻，便是通过化学或物理的方法，有选择地从硅片表面，除去不需要材料的过程。 完成之后，就能通过特定溶剂，洗去硅片表面残余的光刻胶了。 当然，这是最简易的光刻步骤，在实际生产制造中，比这复杂了上百倍。 从开始光刻，到最后洗去残余的光刻胶，几个步骤，就足足花了三个多小时。 当然，这里面也有一些员工刚刚接触新设备，操作不顺手的因素。 当时间来到下午四点半的时候。 车间内，一片惊喜和欢腾的景象。 “出来了，居然真的做出来了！” “60n的电路图，居然真的被我们转移到了硅片上。” “不可思议啊！全华夏能做60n芯片的企业，不超过三家，而且全是在18年下半年才刚刚突破的技术，还是在实验室里！做到量产的话，得到今年年底，甚至是明年年初去了。” “是啊，而我们现在，却拥有了一台可以量产60n芯片的光刻机，如果操作熟练了，速度提上去，再进行交替光刻，一天至少可以造上数百片12寸的圆晶啊！” “这是一个突破，了不起的突破，如果我们把这里发生的事情，宣布出去，足以震惊整个华夏，乃至是中央都要被惊动！” 华夏在半导体行业，被压了太多年了。 从上个世纪以来，就一直跟在西方国家的屁股后面跑，说是向人家乞讨技术也不为过。 虽然60n芯片的量产，和45n芯片的量产，还有一定的差距。 但是，在工艺水平上，也能证明华夏没比ter等落后太多了。 这是一个十分涨士气的突破。 一旁，刘元龙沉声道“各位，你们难道没有意识到吗？刚才我们用的，只是这台光刻机最底线的精度！” 这话一出，几名兴奋的家伙，立刻止住了话音，转而张了张嘴巴，眼睛立刻挣得大大的。 “是啊，刚才用的还是最低的精度！” “没错，往上一个刻度的话，岂不是意味着……45n甚至32n的芯片也有可能了？” “不对，我之前看过一篇学术报告，euv光刻技术的真正领域，是32n，不，是22n以下的领域！” “22n以下，这……这也太疯狂了吧。” “……”